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日本日酸TANAKA半導體設備壓力調節(jié)器低壓閥

日本日酸TANAKA半導體設備壓力調節(jié)器低壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤ02

S-TORR調整器在半導體工藝氣體管線中獲得極大信賴的TORR調整器
是貝一斯開發(fā)的超高純度氣體用壓力調節(jié)器。

  • 產品型號:S-TORRⅤ02
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:223
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詳細介紹

日本日酸TANAKA半導體設備壓力調節(jié)器低壓閥  TANAKA日酸 S-TORRⅤ02 特點介紹


S-TORR調整器在半導體工藝氣體管線中獲得極大信賴的TORR調整器

是貝一斯開發(fā)的超高純度氣體用壓力調節(jié)器。

由于排除了接觸氣體部螺紋結構,并按照標準實施電解研磨,所以可以獲得非常高的水分

可實現(xiàn)置換特性、降低電池。

主體與鋼筋的連接采用焊接,模具和法蘭部的外部密封件采用金屬密封件結構。

由于具有較高的外部密封性,即使是高純度的氣體,也可以放心使用。

包括直線測試在內的全部出貨檢驗。

STV02硅片是本體直徑035、標準面間70.5mm非常小型的壓力調整器

可設計小型出口管線。也適合安裝人員。

作為腐蝕性氣體用,在接觸氣體主要金屬部使用高耐腐蝕性Ni-Cr-Mo合金.

我們準備了SH系列。


日本日酸TANAKA半導體設備壓力調節(jié)器低壓閥  TANAKA日酸 S-TORRⅤ02 規(guī)格參數(shù)


使用材質

接力部

本體:SUS316L

膜片:Ni-Cr-Mo合金

繼手:SUS316L

其它接觸氣體部:SUS316L、SUS316、氟樹脂/

Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、氟樹脂(STV02SH)

非接觸氣體部

蓋:C3604

調壓手柄:ABS樹脂、C3604


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